弹性反冲探测分析

弹性反冲探测分析技术Elastic Recoil Detection Analysis,ERDA), 也被称作前向反冲散射(谱),是一种离子束分析技术,被用在材料科学中,用以分析、测量固体或薄膜材料中某种元素的深度分布。 使用加速器将某一能量的离子束打到待测样品上,离子与靶固体中的某种元素的原子发生弹性碰撞,一般是由库仑力造成的。通过入射离子的动能、弹性碰撞反应截面、散射离子损失的能量等参数,可以检测待测原子在样品中不同深度的富集程度,即不同深度处某种原子所占的比例。

参见

卢瑟福背散射