二次电子
二次电子(Secondary electrons),又称次级电子,是描述物体表面被一主要辐射照射后,发射出的低能量产物电子。该主要辐射可以是具有足够能量的离子、电子或是光子。二次电子属于二次发射的一种。
原理
电子在固体里的非弹性平均自由径(inelastic mean free path) 通常是具有普遍性,也就是说无关于甚么材料[1]。这个距离对金属来说,通常是在几奈米内;对绝缘体来说,在十几奈米内,一般来说距离越小测量精度越高[2][3]。而对低能量的电子(< 5eV)来说,则有更长的平均自由径。
应用
另见
参考文献
- ^ Zangwill, A., Physics At Surfaces, Cambridge University Press: p21, 1988
- ^ Seiler, H. Secondary electron emission in the scanning electron microscope. Journal of Applied Physics. 1983-11, 54 (11): R1–R18. doi:10.1063/1.332840.
- ^ Cazaux, Jacques. Some considerations on the secondary electron emission, δ, from e− irradiated insulators. Journal of Applied Physics. 1999-01-15, 85 (2): 1137–1147. doi:10.1063/1.369239.