氧化物薄膜晶體管（英語：oxide thin-film transistor (TFT)）是場效應管的一種特殊類型，這種技術把半導體有源層和介電質以薄膜的形式沉積在製成襯底上。氧化物薄膜晶體管和非晶硅薄膜晶體管的主要區別是電子通道的材料是氧化物而不是非晶硅。常用的襯底為二氧化硅。薄膜晶體管主要應用於液晶顯示器（LCD）和有機發光半導體（OLED）中。在傳統的晶體管中，半導體材料為襯底，如晶圓。
