本條目存在以下問題,請協助 改善本條目或在 討論頁針對議題發表看法。
此條目需要 精通或熟悉相關主題的編者參與及協助編輯。 (2013年3月22日) 請邀請適合的人士改善本條目。更多的細節與詳情請參見討論頁。 |
|
前開式晶圓傳送盒(英語:FOUP, Front Opening Unified Pod),是半導體製程中被用來保護、運送、並儲存晶圓的一種容器。
其內部通常可以容納25片的300毫米(12英寸)的晶圓,其主要的組成元件是一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式的門框專司容器的開閉,是一種專屬於12吋晶圓廠內的自動化傳送系統重要的傳載容器。
其最重要的功能是在每一台生產機台之間的傳送途中,保護每25片的晶圓避免受到外部環境中的微塵污染,進而影響到良率。