7纳米制程
历史
在2015年7月,IBM宣布以硅锗制程做出第一个可运作的7纳米晶体管[1][2]。台积电在2017年年中推出试验产品[3][4],并于2018年第2季首先量产第一代7纳米芯片[5]。
第一个问世量产的7nm芯片是台积电制造的Apple A12 Bionic,用于2018年末推出的iPhone XS和iPhone XR智能手机[6]。2019年末发表的Apple A13 Bionic使用台积电第二代7nm制程生产,用于iPhone 11及iPhone 11 Pro。
高通Snapdragon 855和华为海思的麒麟980芯片也都采用了台积电的7纳米工艺。[7]
AMD于2019年推出采用了台积电7nm FinFET制程的RX 5700系列 GPU和Zen 2微架构 Ryzen CPU。而Intel预计2023年推出。[8]
富士通与理化学研究所共同开发的超级电脑“富岳”,采用之ARM架构处理器A64FX,也以7纳米制程生产[9]。
台积电在第三代7nm才引入极紫外光刻,而三星与Intel则计划直接量产采用极紫外光刻工艺的7nm芯片。[10]
Intel的10nm的预期性能最差也仅略输台积电的7nm,但Intel的10nm产品在台积电量产第一代7nm量产时仍未完全量产,且产品未达预期性能(甚至未明显超越Intel改良多年的14nm产品);因此台积电的第一代7nm、是第一个让Intel失去领先地位的量产制程。
台积电和三星皆将后续改善的制程命名为6纳米,于2019年量产。[11]
2020年8月台积电在官方部落格宣布,7nm制程芯片于2018年4月正式投入量产,直至2020年7月已生产出第10亿颗功能完好、没有缺陷的芯片,达成新的里程碑。
2021年4月,中芯国际在梁孟松与他的台籍团队主导下,基于现有艾司摩尔浸润式光刻DUV微影制程机台技术,开始用N+1工艺量产7纳米芯片,[12][13][14]中芯也成为继台积电[15]和三星[16]之后,全球第3家能量产7纳米制程的芯片厂。但为避免过于张扬而招致更多制裁,中芯量产7纳米芯片后秘而不宣,直至1年多后,加拿大TechInsights公司于2022年7月,经逆向工程拆解分析中芯为加拿大比特币挖矿公司MinerVa出货的MV7挖矿芯片,发现其为7纳米制程,从而证实了中芯已于1年多前量产7纳米芯片。[12][13][14]这个发现可以证明中芯国际确有利用比特币挖矿活动高峰期,为挖矿矿机业主生产ASIC矿机芯片,而研制了此工艺。[17]
2021年7月,英特尔宣布新的节点命名方式,将其节点与物理尺寸脱勾,其中该公司首次应用EUV技术的7nm FinFET制程更名为“Intel 4”,预定于2022年下半年投产、2023年出货[18][19]。
2023年9月3日,前述TechInsights公司收到Mate 60 Pro后,对其进行拆解分析后,发现中芯国际已量产了强化版的7纳米N+2工艺,证实华为海思半导体也应用了该制程。[20]
7纳米的后继制程计划是5纳米。
以7纳米制程生产的芯片
- Apple A12 Bionic
- Apple A13 Bionic
- 高通Snapdragon 855系列
- 高通Snapdragon 865系列
- 海思半导体麒麟980、麒麟9000S
- AMD Radeon RX 5000系列 GPU
- AMD Radeon RX 6000系列 GPU
- AMD Zen 2微架构 Ryzen CPU
- AMD Zen 3微架构 Ryzen CPU
- 富士通A64FX
- 联发科技Helio M70 5G(MT6297)
- 联发科技天玑(Dimensity)
参考文献
- ^ IBM Research builds functional 7nm processor. [2018-09-18]. (原始内容存档于2018-08-23).
- ^ IBM Discloses Working Version of a Much Higher-Capacity Chip - NYTimes.com. [2018-09-18]. (原始内容存档于2018-09-18).
- ^ WATCH OUT INTEL AND SAMSUNG: TSMC IS GEARING UP FOR 7NM PROCESSING WITH TRIAL PRODUCTION. [2016-11-22]. (原始内容存档于2016-11-07).
- ^ 存档副本. [2016-11-22]. (原始内容存档于2016-11-19).
- ^ 客戶擬直奔 7 奈米製程節點,台積電積極因應需求. [2018-07-05]. (原始内容存档于2018-07-05).
- ^ Apple's A12 Bionic CPU for the new iPhone XS is ahead of the industry moving to 7nm chip manufacturing tech. CNET. 2018-09-12 [2018-09-16]. (原始内容存档于2018-09-16) (英语).
- ^ Snapdragon 8cx Compute Platform. [2018-12-12]. (原始内容存档于2018-12-07).
- ^ 英特爾財報出爐,7奈米製程產品將於2023年問世. iThome. [2021-01-25]. (原始内容存档于2021-02-05) (中文(繁体)).
- ^ スーパーコンピュータ「富岳」仕様. 富士通. [2020-06-23]. (原始内容存档于2020-06-26) (日语).
- ^ Samsung Starts Mass Production of Chips Using Its 7nm EUV Process Tech. anandtech. [2018-10-17]. (原始内容存档于2018-10-18) (英语).
- ^ Jenny. 台積電宣佈推出 6nm 工藝:以 7nm 為基底改進, 2020 年試產. XFastest News. [2019-08-07]. (原始内容存档于2019-08-07) (中文(台湾)).
- ^ 12.0 12.1 SMIC’s 7-nm chip process a wake-up call for US. July 25, 2022 [2023-10-13]. (原始内容存档于2023-11-17).
- ^ 13.0 13.1 China's SMIC Beats Sanctions to Make 7nm Chips – TechInsights. July 22, 2022 [2023-10-13]. (原始内容存档于2023-09-05).
- ^ 14.0 14.1 TechInsights在MinerVa挖礦機中發現中芯國際生產的7奈米晶片. iThome. [2023-08-31]. (原始内容存档于2022-12-03) (中文(繁体)).
- ^ 台積電 7 奈米投產 27 個月後產出第 10 億個. 2020年8月21日 [2023年10月13日]. (原始内容存档于2023年11月17日).
- ^ 紧咬台积电,三星宣布正在量产7nm LPP芯片. 2018年10月19日 [2023年10月13日]. (原始内容存档于2023年11月17日).
- ^ 華為Mate60「純國産晶片」背後:中芯國際代工,礦機晶片練兵成軍. 动区动趋. 2023-08-30 [2023-08-31]. (原始内容存档于2023-08-31) (中文(台湾)).
- ^ cnBeta. Intel宣佈全新節點命名方式:10nm改名為Intel 7、7nm改為Intel 4. 电脑王. [2021-07-27]. (原始内容存档于2021-07-27).
- ^ Andy Yang. Intel 最新 10nm 技術改名為「Intel 7」,新製程路線圖看向「埃」時代. Engadget Chinese. 2021-07-27 [2021-07-27]. (原始内容存档于2021-10-29).
- ^ TechInsights Finds SMIC 7nm (N+2) in Huawei Mate 60 Pro | TechInsights. www.techinsights.com. [2023-09-06]. (原始内容存档于2023-09-06).
外部链接
先前 10纳米制程 |
半导体器件制造制程 | 其后 5纳米制程 |