SONOS,是硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(英语:Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)的英语首字母缩写,是一种和闪存联系较为紧密的非挥发性存储器。它与主流的闪存主要区别在于,它使用了氮化硅(Si3N4),而不是多晶硅,来充当存储材料。它的一个分支是SHINOS(硅-高电介质-氮化物-氧化物-硅)。SONOS允许比多晶硅闪存更低的编程电压和更高的编程-擦除循环次数,是一个较为活跃的研究、开发热点。提供基于SONOS产品的公司包括GlobalFoundries、Cypress Semiconductor、Macronix、东芝联华电子华虹微电子

一个SONOS存储器单元的图示

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