微技術
微技術（英語：Micro-technology）包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學（Optical MEMS）、生物醫學（Bio MEMS）、電腦與週邊（Computer Peripheral MEMS）微機電系統研究[1][2]。
參考
- ^ 王伯雄等編著. 微纳米测量技术. 北京：清華大學出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9.
- ^ 楊繼全，朱玉芳編著. 先进制造技术. 北京：化學工業出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2.
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