電子微探針

電子微探針英語:Electron microprobe,縮寫 EMP),也被稱為電子探針顯微分析(electron probe microanalyzer,EPMA)或電子微探針分析儀(electron micro probe analyzer,EMPA),是一種用於無損檢定少量固體材料元素成分的分析工具。它是用聚焦很細、直徑小於1um的電子束轟擊待測試樣上的微小區域,對激發出的特徵X射線、二次電子、二次離子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子、陰極熒光等進行探測和信息處理的現代儀器分析方法,是電子光學技術與X射線光譜分析技術交匯的產物。