电子微探针

电子微探针英語:Electron microprobe,縮寫 EMP),也被称为电子探针显微分析(electron probe microanalyzer,EPMA)或电子微探针分析仪(electron micro probe analyzer,EMPA),是一種用於无损檢定少量固體材料元素成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待测试样上的微小区域,对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法,是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。