乙二胺鄰苯二酚

乙二胺鄰苯二酚(Ethylenediamine pyrocatechol,EDP), 也被稱為濕蝕刻溶液(EPW),是一種用於非等向性蝕刻溶液。典型的配方包括乙二胺鄰苯二酚吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常強的腐蝕性。主要用於研究實驗室裏,在主流半導體製程裏並無應用。

參考文獻