氟甲烷
氟甲烷，也稱為甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化學式為CH3F，在常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中，在射頻場下氟甲烷會溶解氟離子，可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜，即反應離子刻蝕。
| 氟甲烷 | |||
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| IUPAC名 Fluoromethane | |||
| 別名 | 甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41 | ||
| 識別 | |||
| 縮寫 | R41 | ||
| CAS號 | 593-53-3  558-21-4（2H3）  20666-44-8（13C）
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| PubChem | 11638（2H3） 450707（11C） 12336970（13C） 9833918（17F） 450725（18F） 11638 | ||
| ChemSpider | 11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148 | ||
| SMILES |
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| InChI |
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| InChIKey | NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF | ||
| Beilstein | 1730725 | ||
| Gmelin | 391 | ||
| UN編號 | UN 2454 | ||
| EINECS | 209-796-6 | ||
| ChEBI | 28826 | ||
| KEGG | C11147 | ||
| MeSH | Fluoromethane | ||
| 性質 | |||
| 化學式 | CH3F | ||
| 摩爾質量 | 34.03 g·mol⁻¹ | ||
| 外觀 | 無色無味氣體 | ||
| 密度 | 0.5786 kg/m3(20°C) 0.557 g/cm3(25°C氣體，飽和蒸氣壓) | ||
| 熔點 | -141.8 °C(131.4 K) | ||
| 沸點 | -78.2 °C(195.0 K) | ||
| 溶解性（水） | 1.66 l/kg (2.295 g/l) | ||
| 蒸氣壓 | 3.3 MPa at 20 °C | ||
| 結構 | |||
| 分子構型 | 四面體 | ||
| 危險性 | |||
歐盟危險性符號 極易燃 F+ | |||
| 警示術語 | R：R12 | ||
| 安全術語 | S：S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60 | ||
| NFPA 704 |
 4
1
0
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| 相關物質 | |||
| 相關化學品 | 氯甲烷、溴甲烷、碘甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳 | ||
| 若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
性質
在氟甲烷中，C-F鍵的鍵能為552 kJ/mol，其鍵長為0.139 nm(典型的C-F鍵鍵長為0.14 nm)。分子構型為四面體。
氟甲烷25度時的比熱Cp為38.171 J.mol−1.K−1。臨界點為44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。