氟甲烷,也称为甲基氟氟利昂41HFC-41,其化学式为CH3F,在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中,在射频场下氟甲烷会溶解氟离子,可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜,即反应离子刻蚀

氟甲烷
IUPAC名
Fluoromethane
别名 甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41
识别
缩写 R41
CAS号 593-53-3  checkY
558-21-42H3 ☒N
20666-44-813C ☒N
PubChem 116382H3
45070711C
1233697013C
983391817F
45072518F
11638
ChemSpider 11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148
SMILES
 
  • FC
InChI
 
  • 1/CH3F/c1-2/h1H3
InChIKey NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF
Beilstein 1730725
Gmelin 391
UN编号 UN 2454
EINECS 209-796-6
ChEBI 28826
KEGG C11147
MeSH Fluoromethane
性质
化学式 CH3F
摩尔质量 34.03 g·mol⁻¹
外观 无色无味气体
密度 0.5786 kg/m3(20°C)

0.557 g/cm3(25°C气体,饱和蒸气压)

熔点 -141.8 °C(131.4 K)
沸点 -78.2 °C(195.0 K)
溶解性 1.66 l/kg (2.295 g/l)
蒸气压 3.3 MPa at 20 °C
结构
分子构型 四面体
危险性
欧盟危险性符号
极易燃极易燃 F+
警示术语 R:R12
安全术语 S:S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60
NFPA 704
4
1
0
 
相关物质
相关化学品 氯甲烷溴甲烷碘甲烷二氟甲烷三氟甲烷四氟化碳
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。

性质

在氟甲烷中,C-F键的键能为552 kJ/mol,其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。

氟甲烷25度时的比热Cp为38.171 J.mol−1.K−1临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。

氟甲烷是温室气体,其全球暖化潜势(GWP)为150[1]

参考资料

  1. ^ Sicherheitsdatenblatt bei AirLiquide[永久失效链接]

外部链接