冷等离子体
冷等离子体（英语：cold plasma）是电离率小于10%的等离子体。其电子温度远大于离子温度，属于非热平衡等离子体。用低温等离子体可以对材料表面进行改性处理。[1]
发生技术
产生低温等离子体的手段很多，可用紫外辐射、x射线、电磁场、加热等方法。实验室和工业产品大都采用电磁场激发等离子体，如直流辉光放电、射频放电、微波放电和介质阻挡放电(DBD)等。[2]
应用
参考文献
- ^ 孟月东; 钟少锋. 低温等离子体技术应用研究进展. 物理. 2006, 35 (2): 140–146.
- ^ 任兆杏; 丁振峰. 低温等离子体技术. 自然杂志. 1996, (04).
- ^ 陈杰瑢. 低温等离子体化学及其应用 (PDF). 北京: 科学出版社. 2001 [2021-06-23]. ISBN 7-03-008225-7. （原始内容存档 (PDF)于2021-06-24）.